Korean 
Riber 생산기계 제품들의 신규 개발에 힘입어 웨이퍼 지지대를 선택하여 진공 챔버 내부에 직선 배열구조로 로딩하는 것이 가능해 졌습니다. 이 시스템은 회전 암의 끝에 장착된 리니어 가이드 시스템의 조합을 기반으로 구축됩니다. 이 기계에는 HepcoMotion의 진공 베어링이 장착되어 있습니다.
돌아가기Riber 생산기계 제품들의 신규 개발에 힘입어 웨이퍼 지지대를 선택하여 진공 챔버 내부에 직선 배열구조로 로딩하는 것이 가능해 졌습니다. 이 시스템은 회전 암의 끝에 장착된 리니어 가이드 시스템의 조합을 기반으로 구축됩니다. 이 기계에는 HepcoMotion의 진공 베어링이 장착되어 있습니다.
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