진공 베어링 어플리케이션

산업: 과학

제품: SL2 – 스테인리스 스틸 리니어 가이드

Riber사의 생산기계류 분야 신규 개발 노력의 일환으로, 이들은 웨이퍼 써포트를 집어올려 진공 체임버 안에 로딩하는 직선 배치를 만들어내게 되었습니다. 이 시스템은 회전 팔(arm) 끝에 직선 가이드 시스템을 장착한 조합 형태로 이루어졌습니다.

해결책

HepcoMotion은 최대 10-6 mbar에 달하는 진공 조건에서도 사용 가능한 표준 부품들을 이미 제공하였습니다. Hepco의 V 베어링 테크놀로지는 뛰어난 정밀도와 함께 매우 높은 수준의 부드러운 주행을 가능하게 해 줍니다.

Riber사와의 콜라보레이션으로, HepcoMotion은 매우 높은 진공 상태(10-9 mbar)에서 사용 가능한 비윤활 특수 베어링을 제조하였습니다.

제공품목

Riber사는 이제 VAC SS SJ 34 C/E를 기준으로 만든 특수한 베어링에다 스테인리스 스틸 랙을 장착한 스테인리스 스틸 non-spacer 슬라이드 SS 44를 결합한 제품을 정기적으로 사용하고 있습니다.

결과

HepcoMotion V 베어링의 단순한 원리는 오히려 기술적으로 복잡한 기계에서 제 기능을 발휘하며 큰 만족감을 주는 제품입니다. 이제는 HepcoMotion이 이 완전한 기계적 기능을 갖춘 제품을 Riber사로부터 위임 받아 공급하고 있습니다. 이들은 HepcoMotion의 해결책을 찾기 이전인 과거에는, DIY로 자신들의 이송 시스템을 투박하게나마 직접 제작하여 사용하였습니다.

본 공정들 가운데 또 다른 제약사항 중 하나가 금속 표면이 서로 붙으려고 하는 성향이었으나, 조정이 가능한 우리의 편심 저널로 인해, 이러한 현상을 없애줄 예압을 적당하게 셋팅할 수 있으므로 전혀 문제가 되지 않았습니다. 이 Riber사의 설계사무실과는 현재도 또 다른 개발 건이 진행 중이며, 이번에는 우리의 PRT2 링과 같은 다른 여러 제품들도 사용하려고 시도 중에 있습니다.